1.预处理系统：超纯水机通常配备了一系列预处理系统，包括颗粒过滤器、活性炭过滤器和反渗透膜等。这些预处理系统的作用是去除自来水中的悬浮物、有机物、细菌和离子等杂质。颗粒过滤器可以过滤大颗粒的杂质，活性炭过滤器可以去除有机物质和氯气等，而反渗透膜则是通过物理过滤机制，将水中的离子和微生物拦截下来，提供初步的水质净化。
2.反渗透（RO）膜：超纯水机中常使用反渗透膜作为主要的水处理技术。RO膜具有高效过滤的能力，可以有效去除自来水中的离子、微生物和有机污染物。RO膜的工作原理是利用半透膜的特性，使水分子通过膜而拦截离子和大分子物质，从而实现水的初步纯化。
3.后续处理：在RO膜处理后，超纯水机通常还会采用离子交换树脂和电极混床等进一步处理技术。离子交换树脂能够去除残留的离子，如钠、钙、镁等，进一步提高水的纯度。电极混床是一种高级处理技术，通过阳离子和阴离子交换树脂的共同作用，去除水中残留的离子和有机物质，使水质达到超纯水级别。
